ロータリーカソードとは?

米国・Sputtering Components Inc, 通称SCI社は、米国のミネソタ州オワトナに2001年に設立されました。SCI製ロータリーカソードは、2023年6月現在までに、世界で約7,700台の納入実績を誇ります。その用途は、建築用のLow-Eガラスや、太陽電池、ディスプレイの電極膜、フィルムの反射防止膜等、様々な用途で様々な客先にて使用されています。

弊社株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン、通称SCJは、そのSCI製ロータリーカソードを主軸に、米国・PMI製円筒・平面ターゲットや、ドイツ・ADL社製スパッタリング電源等、スパッタにかかわる周辺機器を取り扱う日本販売拠点です。