内径80㎜の小径ターゲットを搭載可能なCMカソード

●CMカソード

CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80㎜の小径ターゲットを搭載できるモデルです。ターゲット中心距離が、100㎜以上あれば、デュアル搭載が可能なモデルです。ターゲットフランジが交換できるようになっており、内径125㎜の標準的なターゲットも搭載可能です。チャンバー内に十分なスペースが無い場合は、非常に有効なツールです。