注目の新製品
●CMカソード
CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80㎜の小径ターゲットを搭載できるモデルです。ターゲット中心距離が、100㎜以上あれば、デュアル搭載が可能なモデルです。ターゲットフランジが交換できるようになっており、内径125㎜の標準的なターゲットも搭載可能です。チャンバー内に十分なスペースが無い場合は、非常に有効なツールです。
CM, 小径ターゲット SCJ
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ...
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内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。 ・平面カソードからの置き換えや、小型...
●TCエンドブロック SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為...
●RAMーBAR 約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使...
概要: MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...
概要: 新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。 今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲット...
●矩形 カソード 米国・SAS社製プレーナーカソード 特徴: -特許技術により最大45%のターゲット使用効率を引き出し...
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...
概要: RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...