SCI 新製品, 注目の新製品
●CMカソード
CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80㎜の小径ターゲットを搭載できるモデルです。ターゲット中心距離が、100㎜以上あれば、デュアル搭載が可能なモデルです。ターゲットフランジが交換できるようになっており、内径125㎜の標準的なターゲットも搭載可能です。チャンバー内に十分なスペースが無い場合は、非常に有効なツールです。
CM, 小径ターゲット SCJ
製造所: 中国・Fuzhou Yinrich Metallurgical Materials Co., Ltd 品名: 高純度 円筒 ...
記事を読む
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
品名: 米国・Junora社製 円筒型 銀ターゲット 製造所:米国・Junora社について 旧Soleras 社のオーナー、...
◯ はじめに 「EMICON SA-HIPIMS」は、特にHIPIMSプロセスに焦点を置いた「EMICON SA」のアップグレード...
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ...
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」 ●特徴 1.ターゲットは回転しません。 2.内...
●品名: SCI製ロータリカソード部品: 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ アプリケーション:モノリシック(一体物)製法による...
●RAMーBAR 約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使...
◯ 特徴 ・マイクロキャッパー MCF-13は、径13㎜のマイクロチューブへのスクリューキャップの取り付けを自動化します。特許取得...
特徴: エンドブロック(回転駆動部)が真空層に入るドロップインタイプのMCシリーズに、スイング機能を追加搭載した新型モデルと...