SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-Dの基本性能を継承しながら、幅を従来型MC-Dの154㎜から125㎜へコンパクトにしました。チャンバー内スペースを減らす事が可能になる為、装置の小型化と、ポンプ数を減らすことが可能になります。
世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC
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