内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。
・平面カソードからの置き換えや、小型装置への搭載に適しています。
・最大投入可能パワー：20kW DC電源またはMFAC電源
・搭載可能最長ターゲット：1,000㎜
・定期メンテナンス：１年あたり1時間（平均）
〇スペック表：以下よりダウンロード頂けます。
CC80 Spec
〇 搭載用フランジ図面 （デュアル搭載）
〇 CC80 全体図
〇 CC80 外観図
〇 CC80 OBサポートブロック （支え側）
