ドイツ・ADL社製 スパッタ電源

バイポーラ/ユニポーラ パルス スパッタリング接続例

ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。
特に、そのバイポーラパルスドDC電源は、ロータリーカソードでのリアクティブプロセスとの相性が良く、ヨーロッパ及びアジアにおいて、広く利用されております。
また異常放電の自動制御に高い技術を誇っており、ユーザーサイドでアーク制御のプログラミングを行う必要が全くありません。

出力、3kWから280kWまでをカバーするバラエティーに富んだ電源を取り扱っております。半導体用から建築用スパッタ装置まで、様々なアプリケーションで利用されています。

ご興味頂けましたらお気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。(レンタル応相談)

●特徴
1) アーク制御が、完全自動
2) パワーモード、電圧モード、電流モードを選択可能
3) 幅218㎜(HXシリーズ)で、筐体サイズが従来製品の約半分
4) パワーロスが5%以下
5) 電圧波形が矩形となるパルス (電圧基準パルス)
6) イグニッション電圧が低い
7) アーク制御速度が速い

● パワーモードでのアーク制御実測

DC 電源
(HX 300/800)
パルス DC
(HX 300/800
+ SD 300)
バイポーラパルスDC
(HX 300/800
+ SB 300)
測定条件
– 設定モード
– 出力パワー
– 出力電圧
– 出力インダクタンス Lout
Powerモード
10 kW
450 V 以下
2 μH 以下
Powerモード
10 kW
450 V 以下
2 μH 以下
Powerモード
10 kW
560 V 以下
2 μH 以下
反応時間 0 μs 1.5 μs 以内 1 μs 以内
クエンチング時間 7 μs 5 μs 以内 0.5 から1.5 μs 以内
休止時間 0 μs (休止無し) 12.5 μs 以内 0 から22.5 μs 以内
アーク制御手法 共振回路による逆電流 カソードへの電流をほぼゼロになるまで絞り、小休止 回路を開放したまま、新たなパルスで再開
アークエネルギー 2.5 mJ/kW 以下 0.25 mJ/kW 以下 0.15 mJ/kW 以下
最大出力
インダクタンス
最大10 μH (ケーブル)+カソード 最大10 μH (ケーブル)+ カソード 最大10 μH (ケーブル)+カソード
最多アーク処理能力
(アーク数/秒)
40,000
(clamp diode無し)
80,000
(clamp diode有り)
50,000 40,000

●従来型バイポーラ(ユニポーラ―)パルス DCとの比較

従来機 ADL最新機種
イグニッション電圧 1600V-2000V 500-1000V
電圧波形(パルス) 電圧ピーク後ぶらんこ状に降下 矩形(一定電圧)
電流波形(パルス) ノイズあり矩形 ぶらんこ状に上昇
アーク発生個所 波形前半0度から180度 波形後半180度から360度
デュアルカソード間パワー差 大きい 少ない(左右間調整可能)
過電圧ストレス 大きい(ピーク時) 無し(矩形の為)
サイズ指数 100 50
パルスジェネレーター 一体型 分離型
オペレーションモード コンスタントパワー
コンスタント電圧
コンスタントパワー
コンスタント電圧
コンスタント電流
パワーロス 8%以上 5%以下
アーク制御パラメーター 手動設定要 完全自動
冷却方式 空冷 水冷

●従来型ストレートDCとの比較

従来機 ADL最新機種
イグニッション電圧 1000V-1600V 500-1000V
アーク処理能力 標準2,000アーク/秒
最大8,000アーク/秒
標準40,000アーク/秒
最大80,000アーク/秒
プレスパッタ 低速 高速
アーク制御パラメーター 手動設定要 完全自動
パルスジェネレータ接続 不可
入力電源 三相、400-480V 三相、400、440V、480V
冷却方式 空冷 水冷
パワーロス 8%以上 5%以下
サイズ指数 100 50
オペレーションモード コンスタントパワー
コンスタント電圧
コンスタントパワー
コンスタント電圧
コンスタント電流

● バイポーラ パルスジェネレーター
型式 出力
GXB50 5kWまで
SB150 / SB300 35kWまで
HXB 900 から HXB1400 140kWまで

● ユニポーラ パルスジェネレーター
型式 出力
SD30からSD300 30kWまで(逆極性無し)
SD151からSD351 35kWまで(逆極性有)
HXD901からHXD1401 140kWまで


● DC電源 (空冷式)
型式 出力
GS05からGS30 3kWまで
GS60からGS150 15kWまで

● DC電源 (水冷式)
型式 出力
GX50からGX150 15kWまで
GSW100からGSW300 30kWまで
HX150からHX350 35kWまで
HX900からHX1400 140kWまで


● イオンソース用電源
型式 品種
GG 03, GG 03.1, GG 08 アクセラレーター
GG 12, GG 12.1 ビーム
GIP 10, GIP 10.1 ニュートライザー
GDI 09 ディスチャージ
GC 10 カソード