ドイツ・ADL社製 スパッタ電源

バイポーラ/ユニポーラ パルス スパッタリング接続例

ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。
特に、そのバイポーラパルスドDC電源は、ロータリーカソードでのリアクティブプロセスとの相性が良く、ヨーロッパ及びアジアにおいて、広く利用されております。
また異常放電の自動制御に高い技術を誇っており、ユーザーサイドでアーク制御のプログラミングを行う必要が全くありません。

出力、3kWから280kWまでをカバーするバラエティーに富んだ電源を取り扱っております。半導体用から建築用スパッタ装置まで、様々なアプリケーションで利用されています。

ご興味頂けましたらお気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。(レンタル応相談)

● バイポーラ パルスジェネレーター
型式 出力
GXB50 5kWまで
SB150 / SB300 35kWまで
HXB 900 から HXB1400 140kWまで

● ユニポーラ パルスジェネレーター
型式 出力
SD30からSD300 30kWまで(逆極性無し)
SD151からSD351 35kWまで(逆極性有)
HXD901からHXD1401 140kWまで


● DC電源 (空冷式)
型式 出力
GS05からGS30 3kWまで
GS60からGS150 15kWまで

● DC電源 (水冷式)
型式 出力
GX50からGX150 15kWまで
GSW100からGSW300 30kWまで
HX150からHX350 35kWまで
HX900からHX1400 140kWまで


● イオンソース用電源
型式 品種
GG 03, GG 03.1, GG 08 アクセラレーター
GG 12, GG 12.1 ビーム
GIP 10, GIP 10.1 ニュートライザー
GDI 09 ディスチャージ
GC 10 カソード