ドロップイン型 MCスイングカソード モデル名:MCS

特徴:

エンドブロック(回転駆動部)が真空層に入るドロップインタイプのMCシリーズに、スイング機能を追加搭載した新型モデルとなります。
真空層内にはスペースがあるが、大気側にスペースがない状況や、L字方向にモーターを配置しターゲットを回転させ、かつスイング機能を搭載したい状況に有効なツールです。
主に、静止対向型スパッタ装置や、3D基材への成膜をアプリケーションとして想定しております。
また、材料を基板へ飛ばす入射角を大気側から変えられるため、成膜層へのダメージと入射角の相関も検証しやすいロータリーカソードとなります。
60kWはパワー投入可能です。

アプリケーション:
・静止対向型装置への搭載
・3D基材への成膜

資料: 以下よりダウンロード可能です。

スペックシート: MCS brochure page