ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ:GS60-GS150」

「GSシリーズ:GS60-GS150」は、強制空冷方式のスパッタDC電源です。6kWから15kW出力までの全5モデルは、その筐体を3種類からお選びいただけます。アクティブフロントパネル、パッシブフロントパネル、そしてLEDステイタスパネルです。全モデル、デューティーサイクルの制限なく最大出力で使用可能です。より大きな出力を得るために、並列接続での使用も可能です。このGS60からGS150のモデルは、ADL社の他の電源と同様に、完全自動で高速アーク制御します。プロセスごとにアーク制御設定を微調整する必要がない為、取り扱いが非常に容易です。

カタログ:以下からダウンロード頂けます。
Datasheet GS 60 -GS 150_fin_07-2022

特徴
モード:電圧固定モード(U)、電流固定モード(I)、パワー固定モード(P)を選択可能
出力: 6 – 15kW (全5モデル)
冷却方式:強制空冷
小型設計: 高さ132.5x幅437x奥行540
インターフェース:様々な種類を選択可能
ディスプレイ:電流、電圧、パワー表示
出力:フローティング出力
制御:フロントパネル経由手動制御、装置本体経由遠隔制御
異常放電:完全自動制御
オプション:ジュール表示モード

註:6kW以下の空冷式スパッタ電源は、以下をご参照ください。
「GSシリーズ:GS05-GS30」

スペック表:

型式 DC-出力 パーツ番号
GS 60/800 6 kW 800 V 10 A 03Z290
GS 80/800 8 kW 800 V 17 A 03Z340
GS 100/800 10 kW 800 V 17 A 03Z390
GS 120/800 12 kW 800 V 20 A 03Z440
GS 150/800 15 kW 800 V 25 A 03Z490


ADL: バイポーラパルスドDC電源
パワー固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子


ADL: バイポーラパルスドDC電源
電圧固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子


ADL: バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
一定の酸素供給量で基板位置による出力(P)の自動調整


ADL: バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
基板位置による酸素供給量の自動調整で、安定した出力値(P)