ドイツ・ALD社製バイポーラパルスドDC電源 (電源一体型)「GXB50」

バイポーラパルスジェネレーターGXB50は、2基のスパッタカソード間へのプラズマ形成のために、矩形波形のAC電圧を発生させます。5kWのDC電源は、既に内臓されておりますので、別途電源を用意する必要はございません。本モデルは、22.5kHzの固定の周波数で動作します。パルスオン時間、パルスオフ時間は、自動で制御され、事前のパラメータ設定は一切必要ありません。その特徴的な電流比コントローラーは、予め設定されているパルス幅調節アルゴリズム(PWM)をベースにしながら、両極の半波長の出力を監視し、最適化します。
バイポーラパルスジェネレータは、自動アーク制御機構を備えております。トリップレベルとブレイクタイムについてのパラメーターは、その成膜プロセスに応じ、自動的に補正されます。ユーザーは、もう難しいプロセス設定に悩む必要がなくなります。

● 特徴
出力容量 5kW, AC
一体化したDC電源、及びパルスジェネレーター
電流比コントローラー
異常放電自動制御機構
水冷
筐体19インチのコンパクトサイズ (幅: 216 mm, 高さ: 130 mm, 奥行 520 mm)

●スペックシート
以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet GXB 50_012022