ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GSWシリーズ:GSW100-GSW300」

GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です。室温調整が不十分な室内でも、その高効率な水冷システムは、高い信頼性を保証いたします。この電源は、フロントパネル、あるいはコントロールインターフェースを介したリモート、いずれからも制御可能です。究極に高速なアーク制御システムは、完全自動で動作し、あらゆるプロセスにおいて最適に順応します。

スペックシート:以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet GSW 100 – GSW 300_042022

特徴
出力: 10kW-30kW (全22モデル)
並列接続: 総出力240kWまで接続可能
冷却方式: 水冷
バルブ制御:マグネティックバルブ(オプション)
寸法: 幅445㎜(19インチ)x高さ132.5㎜(3HU)x奥行788㎜
出力:フローティング出力
アーク制御:完全自動

型式 出力 品番
GSW 100/500 10 kW 500 V 40 A 06Z010
GSW 100/800 10 kW 800 V 20 A 06Z040
GSW 100/1000 10 kW 1000 V 18 A 06Z041
GSW 150/400 15 kW 400 V 80 A 06Z055
GSW 150/500 15 kW 500 V 60 A 06Z060
GSW 150/600 15 kW 600 V 50 A 06Z070
GSW 150/750 15 kW 750 V 38 A 06Z080
GSW 150/800 15 kW 800 V 30 A 06Z090
GSW 150/1000 15 kW 1000 V 25 A 06Z100
GSW 200/500 20 kW 500 V 70 A 06Z120
GSW 200/750 20 kW 750 V 50 A 06Z135
GSW 200/800 20 kW 800 V 40 A 06Z140
GSW 200/900 20 kW 900 V 40 A 06Z145
GSW 200/1000 20 kW 1000 V 35 A 06Z150
GSW 250/750 25 kW 750 V 60 A 06Z180
GSW 250/800 25 kW 800 V 50 A 06Z190
GSW 250/900 25 kW 900 V 50 A 06Z195
GSW 250/1000 25 kW 1000 V 45 A 06Z200
GSW 300/500 30 kW 500 V 70 A 06Z220
GSW 300/750 30 kW 750 V 66 A 06Z230
GSW 300/800 30 kW 800 V 60 A 06Z240
GSW 300/1000 30 kW 1000 V 50 A 06Z260

●GSW、空冷板付きオプション
粉塵分離機能を備えた空冷板は、工場現場の過酷な環境での使用を想定して設計しました。専用空冷板は、オプションパーツとしてお求め頂けます。