「 SCJ 」一覧

ドイツ・ADL社製 スパッタ電源

ドイツ・ADL社製 スパッタ電源

バイポーラ/ユニポーラ パルス スパッタリング接続例 ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。 特...

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世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」

世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」

内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。 ・平面カソードからの置き換えや、小型...

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ドイツ・Robeco社製 プラズマ発生装置 「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」

ドイツ・Robeco社製 プラズマ発生装置 「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」

概要: MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...

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米国・SAS製 高使用効率 プレーナーカソード

米国・SAS製 高使用効率 プレーナーカソード

●矩形 カソード 米国・SAS社製プレーナーカソード 特徴: -特許技術により最大45%のターゲット使用効率を引き出し...

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ドイツ・Plasus社製 PEMモニター  「EMICON SA」

ドイツ・Plasus社製 PEMモニター 「EMICON SA」

特徴: ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能(例:SiO2のリアクティブ成膜) ...

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ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」

ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」

大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...

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米国・Delcom社製 非接触式抵抗値測定器 20J3

米国・Delcom社製 非接触式抵抗値測定器 20J3

特徴: -.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。 -.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも...

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プロセスシュミレーション for ロータリーカソード

プロセスシュミレーション for ロータリーカソード

SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...

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RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」

RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」

概要: RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...

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Ni(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバー

Ni(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバー

概要: 新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。 今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲット...

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