「 SCI 新製品 」一覧

米国・SCI製ロータリーカソード関連新製品

SCI製ロータリカソード部品: 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ

SCI製ロータリカソード部品: 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ

●品名: SCI製ロータリカソード部品: 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ アプリケーション:モノリシック(一体物)製法による...

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ドロップイン型 MCスイングカソード モデル名:MCS

ドロップイン型 MCスイングカソード モデル名:MCS

特徴: エンドブロック(回転駆動部)が真空層に入るドロップインタイプのMCシリーズに、スイング機能を追加搭載した新型モデルと...

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特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」

特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」

特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」 ●特徴 1.ターゲットは回転しません。 2.内...

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世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」

世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」

内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。 ・平面カソードからの置き換えや、小型...

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プロセスシュミレーション for ロータリーカソード

プロセスシュミレーション for ロータリーカソード

SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...

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RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」

RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」

概要: RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...

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Ni(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバー

Ni(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバー

概要: 新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。 今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲット...

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世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC

世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC

SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-D...

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静止対向スパッタ用、スイングカソード

静止対向スパッタ用、スイングカソード

●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ...

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片側58㎜TCC

片側58㎜TCC

●TCエンドブロック SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為...

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