「 注目の新製品 」一覧
SCI製シリンドリカル型 回転カソードに関連する、注目の新製品をお知らせ致します。
ドイツ CCR製 ICPプラズマソース 「COPRA」
ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズ...
世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」
内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。 ・平面カソードからの置き換えや、小型...
ドイツ・Robeco社製 プラズマ発生装置 「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」
概要： MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...
ドイツ・Plasus社製 PEMモニター 「EMICON SA」
特徴： ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能（例：SiO2のリアクティブ成膜） ...
ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...
米国・Delcom社製 非接触式抵抗値測定器 20J3
特徴： -.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。 -.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも...
プロセスシュミレーション for ロータリーカソード
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」
概要： RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...