「 スパッタ電源 」一覧
ドイツ・ADL社製 ユニポーラパルスジェネレータ「SDシリーズ：15kW-35kW」
SDシリーズ：SD151、SD301、SD351 ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、...
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ：90kW-140kW」
非リアクティブプロセスにおいて、HX 900 からHX 1400のモデル は、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザー...
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXFシリーズ：15kW-30kW」
HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアー...
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GXシリーズ：5kW-15kW」
「GXシリーズ：GX50ｰGX150」は、水冷方式のスパッタDC電源です。5kWから15kW出力までの全15モデルは、その筐体を3種類からお...
ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ：6kW-15kW」
「GSシリーズ：GS60-GS150」は、強制空冷方式のスパッタDC電源です。6kWから15kW出力までの全5モデルは、その筐体を3種類から...
ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ：0.5kW-3kW」
「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ...