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ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」

ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」

大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...

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