「 PEMモニター 」一覧

ドイツ Plasus社製 スペクトル及びパルス監視システム「EMICON SA-HIPIMS 」

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◯ はじめに 「EMICON SA-HIPIMS」は、特にHIPIMSプロセスに焦点を置いた「EMICON SA」のアップグレードモデル...

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ドイツ・Plasus社製 PEMモニター  「EMICON SA」

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特徴: ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能(例:SiO2のリアクティブ成膜) ...

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