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注目の新製品

SCI製ロータリカソード部品：　外径137mm用　特殊ターゲットクランプ
Vital社製　円筒　Ru (Ruthenium: ルテニウム）ターゲット
Vital社製　円筒型　Tb（Terbium: テルビウム）ターゲット
米国・Junora社製円筒型　ITOターゲット　（真空蒸着接合法）　
品名：　米国・Junora社製円筒型　Tin （錫：Sn）　ターゲット
米国・Junora社製円筒型　銀ターゲット
米国・Junora社製円筒型リチウムターゲット
ドロップイン型　MCスイングカソード　モデル名：MCS
特殊ロータリーカソード　「IM-External Mount End Block」
ドイツ CCR製　ICPプラズマソース　「COPRA」
ドイツ・ADL社製　スパッタ電源
世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」
ドイツ・Robeco社製プラズマ発生装置　「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」
米国・SAS製　高使用効率　プレーナーカソード
ドイツ・Plasus社製 PEMモニター「EMICON SA」
ドイツ・CCR社製大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」
米国・Delcom社製　非接触式抵抗値測定器　20J3
プロセスシュミレーション for ロータリーカソード
RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」
Ni（ニッケル）専用特殊強磁場マグネットバー

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