| 太陽電池、建築用ガラス用 大型基板対応スパッタ装置 |
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| 概要： -. ドイツに本社を置く、もとライボルトオプティクスの技術者がスピンアウトして新たに設立したグランゼバッハ社コーティング部門の大型基板用スパッタ装置です。 -. 大型ガラス基板や大型メタル基板用スパッタ装置の製造を得意としています。 -. 主に太陽電池や建築用Low-Eガラスを製造する為の、水平搬送式高性能スパッタ装置を開発しています。 |
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| 特徴： -. 基板の厚みに合わせ、適切にガスをセパレーションする為に、可動式の隔壁システムを採用しています。 -. 一体型のタブシールドを採用しています。一枚ずつ複数のシールドを取り外す必要がなく、メンテナンス時間を最小化できます。 -. 冷却水やカソード電源やガス等の必要なユーティリティーが一体型になったカップリングを採用しています。ワンタッチですべてのユーティリティー接続が可能です。 -. グランゼバッハ製平面カソードはもちろん、SCI製ロータリーカソードを客先の仕様に応じ、柔軟に搭載可能です。 -. 光学的検査装置は標準でZeiss社のOPTOLEXを採用しています。 -. すべてのコンパートメントが同一のサイズで設計されている為、プロセスコンパートメント、ポンプコンパートメント、スペアコンパートメントを柔軟に入れ替え可能です。 -. カソードの直上にポンプを設置したトップポンピング方式を採用可能な為、装置の全長を従来型よりも、短くする事が可能となります。 |
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ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
