特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」

特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」

●特徴
1.ターゲットは回転しません。
2.内部のマグネットバーのみが360度継続回転します。
3.内径125㎜のターゲット(標準タイプ)、内径80㎜ターゲット(小径タイプ)、いずれも搭載可能です。

●使用例
1.円筒状基材の、内壁面への成膜
2.ターゲットの中心から、TTS距離をおいたその同心円上に配置した基材への成膜

●アプリケーション例
1.工具成膜
2.装飾成膜

●仕様
投入可能な最大パワー: 60kW (DCもしくはMFAC)
投入可能な最大電圧:1500V
投入可能な最大電流:150A
搭載可能な最長ターゲット:2000㎜
メンテナンス:1時間/年 (回転シール交換の為)

●外径図例

ターゲット内径125㎜の場合:

ターゲット内径80㎜の場合: