「GSシリーズ：GS60-GS150」は、強制空冷方式のスパッタDC電源です。6kWから15kW出力までの全5モデルは、その筐体を3種類からお選びいただけます。アクティブフロントパネル、パッシブフロントパネル、そしてLEDステイタスパネルです。全モデル、デューティーサイクルの制限なく最大出力で使用可能です。より大きな出力を得るために、並列接続での使用も可能です。このGS60からGS150のモデルは、ADL社の他の電源と同様に、完全自動で高速アーク制御します。プロセスごとにアーク制御設定を微調整する必要がない為、取り扱いが非常に容易です。
カタログ：以下からダウンロード頂けます。
Datasheet GS 60 -GS 150_fin_07-2022
特徴
モード：電圧固定モード（U）、電流固定モード（I）、パワー固定モード（P）を選択可能
出力： 6 – 15kW （全5モデル）
冷却方式：強制空冷
小型設計： 高さ132.5ｘ幅437ｘ奥行540
インターフェース：様々な種類を選択可能
ディスプレイ：電流、電圧、パワー表示
出力：フローティング出力
制御：フロントパネル経由手動制御、装置本体経由遠隔制御
異常放電：完全自動制御
オプション：ジュール表示モード
註：6kW以下の空冷式スパッタ電源は、以下をご参照ください。
「GSシリーズ：GS05-GS30」
スペック表：
| 型式 | DC-出力 | パーツ番号 | ||
| GS 60/800 | 6 kW | 800 V | 10 A | 03Z290 |
| GS 80/800 | 8 kW | 800 V | 17 A | 03Z340 |
| GS 100/800 | 10 kW | 800 V | 17 A | 03Z390 |
| GS 120/800 | 12 kW | 800 V | 20 A | 03Z440 |
| GS 150/800 | 15 kW | 800 V | 25 A | 03Z490 |
ADL： バイポーラパルスドDC電源
パワー固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子
ADL： バイポーラパルスドDC電源
電圧固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子
ADL： バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
一定の酸素供給量で基板位置による出力（P）の自動調整
ADL： バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
基板位置による酸素供給量の自動調整で、安定した出力値（P）
