ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GSWシリーズ：10kW-30kW」

ドイツ・ADL社製　水冷式スパッタDC電源　「GSWシリーズ：10kW-30kW」

GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です。室温調整が不十分な室内でも、その高効率な水冷システムは、高い信頼性を保証いたします。この電源は、フロントパネル、あるいはコントロールインターフェースを介したリモート、いずれからも制御可能です。究極に高速なアーク制御システムは、完全自動で動作し、あらゆるプロセスにおいて最適に順応します。

スペックシート：以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet GSW 100 – GSW 300_042022

特徴
出力：　10kW-30kW　（全22モデル）
並列接続：　総出力240kWまで接続可能
冷却方式：　水冷
バルブ制御：マグネティックバルブ（オプション）
寸法：　幅445㎜（19インチ）ｘ高さ132.5㎜（3HU）ｘ奥行788㎜
出力：フローティング出力
アーク制御：完全自動

型式	出力			品番

GSW 100/500	10 kW	500 V	40 A	06Z010
GSW 100/800	10 kW	800 V	20 A	06Z040
GSW 100/1000	10 kW	1000 V	18 A	06Z041

GSW 150/400	15 kW	400 V	80 A	06Z055
GSW 150/500	15 kW	500 V	60 A	06Z060
GSW 150/600	15 kW	600 V	50 A	06Z070
GSW 150/750	15 kW	750 V	38 A	06Z080
GSW 150/800	15 kW	800 V	30 A	06Z090
GSW 150/1000	15 kW	1000 V	25 A	06Z100

GSW 200/500	20 kW	500 V	70 A	06Z120
GSW 200/750	20 kW	750 V	50 A	06Z135
GSW 200/800	20 kW	800 V	40 A	06Z140
GSW 200/900	20 kW	900 V	40 A	06Z145
GSW 200/1000	20 kW	1000 V	35 A	06Z150

GSW 250/750	25 kW	750 V	60 A	06Z180
GSW 250/800	25 kW	800 V	50 A	06Z190
GSW 250/900	25 kW	900 V	50 A	06Z195
GSW 250/1000	25 kW	1000 V	45 A	06Z200

GSW 300/500	30 kW	500 V	70 A	06Z220
GSW 300/750	30 kW	750 V	66 A	06Z230
GSW 300/800	30 kW	800 V	60 A	06Z240
GSW 300/1000	30 kW	1000 V	50 A	06Z260