HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアークエネルギーを抑制します。HXFは、特に弊社のHXシリーズと、電気的そしてメカ的に互換性があり、また、パルスジェネレータとの連携用インターフェースを備えております。その小さな本体は、装置周辺機器への格納あるいは、チャンバー自体への直接取り付けを可能にします。また非常に効率的な水冷システムは、エアコンによる室温制御が厳密になされていない環境下においても、最高のパフォーマンスを発揮します。水滴の凝集を防ぐため、エクスターナルマグネティックバルブが、内蔵の温度制御ユニットを介して接続可能です。また、並列接続で、最大240kWまで、出力拡張が可能です。
●スペック表は以下をクリックしてください。
Datasheet HXF 150 – HXF 300_012022_2
●特徴
15kWから30kWまでの出力、全6モデル
並列接続で240kWまで拡張可能
水冷方式
磁気バルブ制御
パーティクル除去機構
高さ222㎜ｘ奥行645㎜ｘ幅218㎜のコンパクト設計
装置へ直接フランジ搭載可能
クレーンアイ取付用M8メネジ付き
脱着可能、回転可能なディスプレイ
異常放電完全自動制御
HXF150-HXF300、水平搭載時での正面
HXF150-HXF300、水平搭載時での背面
垂直搭載時のHXF150-HXF300と回転スプレイ
| 型式 | DC-出力 | 品番 | ||
| HXF 150/500 | 15 kW | 500 V | 60 A | 13Z410 |
| HXF 150/600 | 15 kW | 400 V | 50 A | 13Z420 |
| HXF 150/800 | 15 kW | 800 V | 30 A | 13Z430 |
| HXF 200/800 | 20 kW | 800 V | 40 A | 13Z460 |
| HXF 250/800 | 25 kW | 800 V | 50 A | 13Z480 |
| HXF 300/800 | 30 kW | 800 V | 60 A | 13Z490 |
