ユニポーラパルスジェネレータ　HXD 901-HXD1401

ハイパワーと、容易な操作性、そして安定したプロセスを得ようとした場合、HXD901-HXD1401を利用することが、最も簡単な解決策です。モジュール化されたユニポーラパルスジェネレータは、4mまでの長さのカソードでのリアクティブプロセス成膜を最適化します。このジェネレータは、完全自動で、すべての関連するプロセスパラメータを認識し、そのアーク検知とアーク除去を独立して制御します。オペレーション再開時や、ターゲット交換時には、一切の手動調整は不要です。また非常に冷却効率が優れるため、仮にエアーコンディショナーが設置されていない環境で使用されても、高い信頼性を保証します。

●　仕様書
以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet HXD 901 – HXD 1401_012022c