Delcom Multisensor Inline Meter は、導電性薄膜のシート抵抗を 非接触・高速・高安定で測定するインライン専用モデルです。
複数センサーを直列配置でき、ロール to ロール（R2R）ラインや真空チャンバー内での リアルタイム膜厚・抵抗ムラ監視に最適です。
本ページでは、SCJ の技術知見に基づき、測定原理・レンジ構造・ギャップ特性・温度補償・校正・インライン設置を体系的に解説します。
非接触シート抵抗測定の仕組み｜エディカレント方式
Multisensor Inline Meter は、交流磁界を利用したエディカレント（渦電流）方式で導電膜のシート抵抗を測定します。
磁界が導電層に渦電流を誘起し、その応答から導電性を算出するため、材料に触れることなく測定できます。
- 非接触でフィルム・ウェーハを傷つけない
- 高速応答でインライン制御に最適
- 光学式では測れない金属膜にも対応
- 接触式プローブのようなダメージなし
Delcom レンジ構造｜x1〜x10000 の精度設計
Delcom のレンジは「中心値を最も高精度に測定する」ように設計されています。 各レンジは特定のシート抵抗値を最高精度で測定できるよう最適化されています。
- x1：1 Ω/□ を最高精度で測定
- x10：10 Ω/□
- x100：100 Ω/□
- x1000：1 kΩ/□
- x10000：10 kΩ/□
レンジ精度のイメージ（図解）
精度（有効数字）
↑
│ ／＼
│ ／ ＼
│ ／ ＼
│ 低抵抗 高抵抗
└────────────────→ 測定値
レンジ中心が最も高精度
測定対象のシート抵抗がレンジ中心に近いほど、再現性・安定性が高くなります。
ギャップ特性｜導電層は“ギャップ中央”が最も安定
Multisensor Inline Meter は上下2つのセンサーで構成され、 その間のギャップ中央が最も磁場が安定する領域です。
そのため、インライン測定では次が重要になります：
- 材料の高さをギャップ中央に合わせる
- 材料の揺れ（フラッタ）を抑える
- ステージやローラーで高さを一定に保つ
高さが変わると読み値が変動するため、インラインでは高さ制御が最重要パラメータになります。
温度ドリフトと補償｜90%以上を自動補正
エディカレント方式は温度変化の影響を受けやすいため、 Multisensor Inline Meter は内部温度センサーにより90%以上のドリフトを自動補正します。
安定測定のための推奨運用：
- ウォームアップ：3時間以上
- センサーを熱源から隔離
- 室温と機器温度を一致させる
ZERO（ゼロ調整）｜測定前の必須ステップ
ZERO は「基準点の再設定」です。 温度変化や経時変化で基準がズレるため、測定前に必ず ZERO を押します。
- センサー内に材料がない状態で ZERO
- 基準がズレたまま測定すると誤差が累積
- インラインでは定期的な ZERO が安定性を高める
インライン設置｜R2Rライン・真空チャンバーでの最適化
Multisensor Inline Meter はインライン用途を前提に設計されており、 R2Rラインや真空チャンバー内での連続測定に最適です。
インライン設置の最重要ポイント
- 導電層の高さをギャップ中央に固定
- センサーの上下位置を正確に合わせる
- 材料の揺れを抑制（ガイドローラー推奨）
- ステージ使用で高さ再現性を確保
校正（Calibration）｜1点校正で運用可能
Multisensor Inline Meter は、標準板を用いた1点校正で運用できます。 インライン用途では、定期的な校正により長期安定性が向上します。
- センサー内を空にして ZERO
- 標準板を挿入
- ソフトウェアで校正値を設定
- Use Calibration を有効化
用途｜薄膜・ウェーハ・真空成膜ラインに最適
- ITO膜（透明導電膜）
- 金属薄膜（Al, Cu, Ni, Cr）
- 半導体ウェーハ
- 太陽電池セル
- FPC・フィルム材料
- 真空チャンバー内のインライン監視
SCJの技術サポート
- インライン導入支援（R2R・真空チャンバー）
- デモ機レンタルサービス
- Delcom本社との技術調整
- 校正・レンジ選定の技術相談
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