Delcom RDシリーズ（RD200 / RD300 / RD450）は、導電性薄膜の 非接触シート抵抗測定を高精度に行うベンチトップ型エディカレントメーターです。
研究開発（R&D）から品質管理（QC）、製造ラインの抜き取り検査まで幅広く対応し、 サンプルをステージに置くだけで簡単に測定できます。
RDシリーズとは｜研究開発・品質管理に最適なベンチトップ測定器
RDシリーズは、上部と下部の2つのインダクタ間に形成される磁場を利用し、 導電膜のシート抵抗を非接触・非破壊で測定する装置です。
四探針のようにサンプルを傷つけることがなく、光学式では測れない金属膜にも対応します。
- 非接触・非破壊で材料を傷つけない
- サンプルを置くだけで測定可能
- 光学式では測れない金属膜にも対応
- 26mmスポットの高精度測定
- IM100/IM110インターフェースでPC制御可能
RDを使うべき用途
RDシリーズは以下の用途に最適です。
① 研究開発（R&D）で材料特性を評価したいとき
- ITO / TCO / CNT / グラフェンなどの導電膜評価
- 太陽電池セルの抵抗ムラ評価
- 半導体ウェーハの抵抗率測定
- 新規材料の導電性スクリーニング
② 製造ラインの抜き取り検査（QC）
- R2Rラインで製造したフィルムのロット検査
- 金属化フィルム・反射材の品質管理
- 建築ガラス（Low-E）の導電膜チェック
③ サンプルを破壊せずに測りたいとき
- 四探針では傷つく材料
- 光学式では測れない金属膜
- 薄膜の導電性を直接評価したい場合
④ ベンチトップで簡単に測りたいとき
- サンプルを置くだけで測定したい
- 研究室での迅速な測定
- 工程内の簡易チェック
⑤ 面内ムラ（マッピング）を取りたいとき
- Delcomソフトウェアで手動マッピングが可能
- ウェーハやフィルムの均一性評価に最適
※インライン測定や真空中での連続測定は RD ではなく Multisensor / Moveable が適正です。
測定原理｜エディカレント（渦電流）方式
RDシリーズは、交流磁場を導電膜に照射し、誘起される渦電流の応答から シート抵抗（Ω/□）を算出します。
- 非接触・非破壊
- 薄膜の導電性を直接評価
- 光学式のような推定ではなく“直接測定”
レンジ構造｜x1〜x10000 の高精度レンジ
Delcom のレンジは、特定のシート抵抗値を最も高精度に測定できるよう設計されています。
- x1：1 Ω/□ を最高精度で測定
- x10：10 Ω/□
- x100：100 Ω/□
- x1000：1 kΩ/□
- x10000：10 kΩ/□
ステージ構造｜RD200 / RD300 / RD450 の違い
- RD200：200mm × 200mm
- RD300：300mm × 300mm
- RD450：450mm × 450mm
上部アーム先端の半円形内部に上部コイル、ステージ内部に下部コイルが配置され、 その間（ギャップ）が測定領域です。
直径26mmの円形領域が実際の測定スポットとなります。
高さ依存性｜ギャップ中央が最も安定
上下コイル間の磁場は均一ではなく、ギャップ中央が最も抵抗値が高く表示される特性があります。
そのため、サンプルの導電層の高さが変わると読み値が変動します。
- サンプルはステージに密着させる（工場校正条件）
- 高さを変える場合はその高さで再校正
温度ドリフトと補償
RDシリーズは内部温度センサーにより、温度変化によるドリフトを90%以上自動補償します。
- ウォームアップ：3時間以上推奨
- 熱源からの遮蔽
- 測定前に ZERO（ゼロ調整）を実施
校正（Calibration）
RDシリーズは標準板を用いた1点校正で運用できます。
- サンプルなしで ZERO
- 標準板をステージに密着させて挿入
- ソフトウェアで校正値を設定
- Use Calibration を有効化
SCJの技術サポート
- レンジ選定の技術相談
- デモ機レンタルサービス
- 校正・高さ条件の最適化
- Delcom本社との技術調整
お問い合わせ
RD200 / RD300 / RD450 の導入検討、デモ機レンタル、 校正・レンジ選定などお気軽にご相談ください。
