AMAT / LAM / TEL 対応 Throttle Valve(スロットルバルブ)高耐久・高精度の代替ソリューション

SRCTECH(Semiconductor Revolution Technology)は、半導体装置向けの Throttle Valve(スロットルバルブ)専門サプライヤーとして、 AMAT / LAM / TEL を中心とした主要装置に対応する 高耐久・高精度の代替バルブを供給しています。

純正バルブは高価で納期も長く、装置停止リスクが常に発生する一方、 SRCTECH のバルブは 純正互換・短納期・安定供給 を実現した “実務的な代替ソリューション” です。


主要ラインナップ(AMAT / LAM / TEL)

SRCTECH の Throttle Valve は、New(新品) / OEM Used(動作保証)の2形態で提供可能です。

AMAT 対応バルブ

  • CENTURA / ENDURA 用 Throttle Valve
  • Producer / DPS / HP+ 用
  • PVD / CVD / Etch 各種チャンバー向け

LAM Research 対応バルブ

  • 4520 / 4520X
  • 9400 / 9600
  • Kiyo / Flex
  • Vector / Syndion

TEL 対応バルブ

  • Unity
  • Trias
  • NT333 / NT442
  • PVD / CVD / Etch 各種

→ 主要メーカーの旧型〜現行装置まで幅広く対応
→ 装置の延命・海外向け装置のBOM最適化に最適


SRCTECH Throttle Valve の特徴

1. 高耐久構造(長寿命)

摩耗しやすいシャフト・ベアリング・シール部を強化した設計で、 純正同等の耐久性を確保しています。

2. 高精度の開度制御

開度の再現性・応答性が高く、CVD / PVD / Etch のプロセス安定性を損なわない設計です。

3. 純正の 40〜70% の価格帯

AMAT / LAM / TEL 純正と比較して、大幅なコスト削減が可能です。
中古装置業者・海外向け装置メーカーの BOM 最適化に最適です。

4. 在庫品は短納期(数日〜2週間)で供給可能

在庫がない場合も、一般的に 2〜4週間で供給できます。
純正の長納期(4〜12週間)を大幅に短縮できます。

5. 全品 DOA保証(初期不良率 1〜3%)

交換作業のみで復旧可能。現場調整が不要で、手離れが良いカテゴリです。


よくある故障例(代替バルブが求められる理由)

  • シャフト摩耗による開度ズレ
  • ベアリング固着
  • モーター駆動不良
  • シール劣化によるリーク
  • 開度センサー異常

中古装置ではこれらが頻発するため、代替バルブの需要が常に存在します。


適合用途

  • 中古 AMAT / LAM / TEL 装置のリファービッシュ
  • 海外 Fab 向け装置の BOM コスト削減
  • 旧型装置の延命・保守
  • 純正納期遅延時の緊急対応
  • 部品供給が終了した旧世代装置の復旧

SRCTECH について

SRCTECH(韓国・オサン市)は、半導体装置向けの Heater / ESC / Throttle Valve / PCB / Magnet を扱う総合サプライヤーです。

  • ISO9001 / ISO14001 認証
  • 韓国・台湾・中国・米国の refurbish 企業と長期取引
  • AMAT / LAM / TEL など主要装置の部品供給に対応

特に Throttle Valve・PCB・PVD Magnet は日本市場でも採用しやすいカテゴリとして注目されています。

会社案内:Company Introduction_SRCTECH

取り扱い製品:Suppliable List_SRCTECH


お問い合わせ

品番・在庫・納期については、
型番をお知らせいただければ即日回答いたします。
AMAT / LAM / TEL の Throttle Valve 調達でお困りの際は、ぜひご相談ください。