SRCTECH社は、半導体装置向けの ALN Heater / AL Heater / SUS Heater を製造する専門サプライヤーとして、 AMAT・LAM・TEL を中心とした主要プラットフォームに対応した 高均一性・高耐久性のヒーターを供給しています。
純正ヒーターは高価で納期も長く、装置停止リスクが常に発生しますが、 SRCTECH のヒーターは 純正互換・短納期・安定供給 を実現した “実務的な代替ソリューション” です。
主要ラインナップ（AMAT / LAM / TEL）
SRCTECH の Heater は、New（新品） / OEM Used（動作保証）の2形態で提供可能です。
AMAT 対応 Heater
- CENTURA / ENDURA 用 Heater
- Producer / DPS / HP+ 用 Heater
- PVD / CVD / Etch 各種チャンバー向け Heater
- ACT‑8 / ACT‑12 用 HHP / HCH Heater
LAM Research 対応 Heater
- 4520 / 4520X
- 9400 / 9600
- Kiyo / Flex
- Syndion / Vector
TEL 対応 Heater
- Unity
- Trias
- NT333 / NT442
- PVD / CVD / Etch 各種
→ 主要メーカーの旧型〜現行装置まで幅広く対応
→ 装置の延命・海外向け装置のBOM最適化に最適
SRCTECH Heater の特徴
1. 高い温度均一性（Rs測定データに基づく設計）
SRCTECH の HHP / HCH Heater は、9点・29点測定による温度均一性（Rs）評価を実施し、 50〜350℃レンジで均一性を確認しています。
顧客要求スペックを満たす性能で、プロセス安定性を損なわない設計です。
2. 高耐久構造（長寿命）
ヒーター内部の発熱体・絶縁材・接合部を強化し、長期使用でも劣化しにくい構造です。
3. リーズナブルな価格帯
AMAT / LAM / TEL 純正と比較して、大幅なコスト削減が可能です。
海外向け装置メーカー・中古装置業者の BOM 最適化に最適です。
4. 在庫品は短納期（数日〜2週間）で供給可能
在庫がない場合も、一般的に 2〜4週間程度で供給できます。
純正の長納期を大幅に短縮できます。
5. 全品 DOA保証（初期不良率 1〜3%）
交換作業のみで復旧可能で、現場調整が不要なため、手離れが良いカテゴリです。
Repair Capability（修理対応）
SRCTECH は Heater の修理にも対応しています。
- X-ray 検査
- 温度センサー点検
- Leak センサー点検
- Plate Horizon（平面度）チェック
修理後の品質保証が可能です。
Install Base（導入実績）
SRCTECH Heater は 2018年以降、200〜300台以上の導入実績があります。
- SK Hynix
- TSMC
- VisEra
- 台湾・中国・米国の refurbish企業
世界8カ国で採用されている安定した製品です。
よくある故障例（代替ヒーターが求められる理由）
- 温度ムラ（均一性低下）
- センサー異常
- 内部断線
- リーク検知異常
- 絶縁劣化
中古装置ではこれらが頻発するため、代替ヒーターの需要が常に存在します。
適合用途
- 中古 AMAT / LAM / TEL 装置のリファービッシュ
- 海外 Fab 向け装置の BOM コスト削減
- 旧型装置の延命・保守
- 純正納期遅延時の緊急対応
- 部品供給が終了した旧世代装置の復旧
SRCTECH について
SRCTECH（韓国・オサン市）は、半導体装置向けの Heater / ESC / Throttle Valve / PCB / Magnet を扱う総合サプライヤーです。
- ISO9001 / ISO14001 認証
- 韓国・台湾・中国・米国の refurbish 企業と長期取引
- AMAT / LAM / TEL など主要装置の部品供給に対応
特に Heater・ESC・Throttle Valve は海外市場で高い評価を得ています。
会社案内：Company Introduction_SRCTECH
製品案内：Suppliable List_SRCTECH
ヒーター関連詳細：SRCTECH HHP & HCH, SRCTECH_Heater(2nd source)
お問い合わせ
品番・在庫・納期については、
型番をお知らせいただければ即日回答いたします。
AMAT / LAM / TEL の Heater 調達でお困りの際は、ぜひご相談ください。
