半導体製造装置では、ウェーハ搬送の精度と再現性がプロセス品質と装置稼働率を左右します。 SRC TECH（Semiconductor Revolution Technology）は、AMAT・LAM・TEL を中心とした主要装置に対応する Wafer Transfer Robot（真空ロボット／アトモスロボット） を製造・供給しています。
純正ロボットは高価で納期も長い一方、SRC TECH のロボットは 純正互換・短納期・安定供給 を実現した “実務的な代替ソリューション” です。
ロボットが必要な理由（搬送精度・再現性・耐久性）
1. ウェーハ搬送の高精度位置決め（Repeatability）
ウェーハ位置が 0.1mm ずれるだけでアライメント不良やプロセス位置ズレが発生します。 SRC TECH のロボットは、純正同等の ±0.05〜0.1mm の位置精度 を維持し、装置の安定稼働を支えます。
2. 搬送速度と装置スループット
ロボットの動作速度は装置のスループット（WPH）に直結します。 SRC TECH のロボットは純正同等の速度プロファイルを再現し、中古装置でも安定した処理能力を維持できます。
3. 真空環境での耐久性（Vacuum Robot）
真空ロボットは摩耗粉の発生・ベアリング劣化・モーター熱劣化が起こりやすく、故障すると装置停止につながります。 SRC TECH は真空対応ベアリング・耐熱モーターを採用し、長寿命化を実現しています。
主要ラインナップ（AMAT / LAM / TEL）
SRC TECH のロボットは、New（新品）／Refurbished（再生品） の2形態で提供可能です。
AMAT 対応ロボット
- ENDURA / CENTURA
- Producer / DPS / HP+
- PVD / CVD / Etch 各種
- Vacuum Robot（Dual Arm / Single Arm）
LAM Research 対応ロボット
- 4520 / 4520X
- 9400 / 9600
- Kiyo / Flex
- Syndion / Vector
- Vacuum Robot / Atmospheric Robot
TEL 対応ロボット
- Unity
- Trias
- NT333 / NT442
- PVD / CVD / Etch 各種
→ 主要メーカーの旧型〜現行装置まで幅広く対応
→ 装置延命・海外向け装置のBOM最適化に最適
SRC TECH ロボットの特徴
1. 高精度位置決め（Repeatability ±0.05〜0.1mm）
純正同等の位置精度を確保し、アライメント不良を防止します。
2. 高耐久ベアリング・モーター採用
真空環境での摩耗を抑え、長期使用でも性能が低下しにくい設計です。
3. リーズナブルな価格帯
中古装置業者・海外向け装置メーカーの BOMコスト削減 に最適です。
4. 短納期（在庫品は数日〜2週間）
純正の長納期（4〜12週間）を大幅短縮できます。
5. 全品 DOA保証（初期不良率 1〜3%）
交換のみで復旧可能で、現場調整が不要なため、手離れが良いカテゴリです。
よくある故障例（代替ロボットが求められる理由）
- ベアリング摩耗
- モーター熱劣化
- エンコーダ異常
- アームのバックラッシュ増加
- 真空環境での潤滑不良
- 搬送位置ズレ（Repeatability低下）
中古装置ではこれらが頻発するため、代替ロボットの需要が常に存在します。
適合用途
- 中古 AMAT / LAM / TEL 装置のリファービッシュ
- 海外Fab向け装置のBOMコスト削減
- 旧型装置の延命・保守
- 純正納期遅延時の緊急対応
- 部品供給終了装置の復旧
SRC TECHについて
SRC TECH（韓国・オサン市）は、半導体装置向けの Robot / ESC / Heater / Valve / PCB / Magnet を扱う総合サプライヤーです。
- ISO9001 / ISO14001 認証
- 韓国・台湾・中国・米国の refurbish企業と長期取引
- AMAT / LAM / TEL 向け部品供給に強み
特に Robot・ESC・Valve は海外市場で高い評価を得ています。
会社案内：Company Introduction_SRCTECH
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