米国・SCI Engineered Materials (SEM)社は、高品質な Hf (ハフニウム) スパッタリングターゲットを供給しております。
ターゲット単体でのご供給はもちろん、必要に応じ、バッキングプレートの作成並びにボンディングを実施した状態でのご提供も可能です。
以下はデータシートです。
Hafnium-Data-Sheet
以下は、参考の不純物分析シート(実績値)です。
Hf certs sample 26-0201
平面ターゲットのボンディングに関する合格・不合格の仕様は、ボンディング面積の95%以上正常にボンドされている事であり、かつ0.25インチを超えるボイドがないことです。SEM社は、これらの仕様を確実に満たすため、ボンディング済みのターゲットに対して超音波Cスキャンを実施しています。
もしもご興味、ご関心をいただける際は、何なりとお問い合わせください。
