「 ADL製スパッタ電源 」一覧

ドイツ・ADL社製スパッタ及びイオンソース用電源です。

ドイツ・ADL社製 ユニポーラパルスジェネレータ「SDシリーズ:15kW-35kW」

ドイツ・ADL社製 ユニポーラパルスジェネレータ「SDシリーズ:15kW-35kW」

SDシリーズ:SD151、SD301、SD351 ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、...

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ドイツ・ADL社製 ユニポーラパルスジェネレータ「SDシリーズ:3kW-30kW」

ドイツ・ADL社製 ユニポーラパルスジェネレータ「SDシリーズ:3kW-30kW」

ユニポーラパルスジェネレータ SDシリーズ このパルスジェネレータは、ADL社製DC電源との連携により、ユニポーラパルスを発生させ...

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ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ:90kW-140kW」

ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ:90kW-140kW」

非リアクティブプロセスにおいて、HX 900 からHX 1400のモデル は、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザー...

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ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXFシリーズ:15kW-30kW」

ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXFシリーズ:15kW-30kW」

HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアー...

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ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ:15kW-35kW」

ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ:15kW-35kW」

幅218㎜、高さ222㎜という、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、...

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ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GSWシリーズ:10kW-30kW」

ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GSWシリーズ:10kW-30kW」

GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です...

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ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GXシリーズ:5kW-15kW」

ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GXシリーズ:5kW-15kW」

「GXシリーズ:GX50ーGX150」は、水冷方式のスパッタDC電源です。5kWから15kW出力までの全15モデルは、その筐体を3種類からお...

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ドイツ・ALD社製バイポーラパルスドDC電源 (電源一体型)「GXB50: 5kW」

ドイツ・ALD社製バイポーラパルスドDC電源 (電源一体型)「GXB50: 5kW」

バイポーラパルスジェネレーターGXB50は、2基のスパッタカソード間へのプラズマ形成のために、矩形波形のAC電圧を発生させます。5k...

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ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ:6kW-15kW」

ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ:6kW-15kW」

「GSシリーズ:GS60-GS150」は、強制空冷方式のスパッタDC電源です。6kWから15kW出力までの全5モデルは、その筐体を3種類から...

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ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ:0.5kW-3kW」

ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ:0.5kW-3kW」

「GSシリーズ:GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ...

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