「 CCR製プラズマソース 」一覧

ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVDソースです。

ドイツ CCR製 ICPプラズマソース 「COPRA」

ドイツ CCR製 ICPプラズマソース 「COPRA」

ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズ...

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ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」

ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」

大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...

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