「 CCR製プラズマソース 」一覧
ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVDソースです。
ドイツ CCR製 ICPプラズマソース 「COPRA」
ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズ...
ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...