「 DC電源 」一覧
ドイツ・ADL社製DC電源です。
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ：90kW-140kW」
非リアクティブプロセスにおいて、HX 900 からHX 1400のモデル は、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザー...
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXFシリーズ：15kW-30kW」
HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアー...
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GSWシリーズ：10kW-30kW」
GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です...
ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GXシリーズ：5kW-15kW」
「GXシリーズ：GX50ｰGX150」は、水冷方式のスパッタDC電源です。5kWから15kW出力までの全15モデルは、その筐体を3種類からお...
ドイツ・ALD社製バイポーラパルスドDC電源 （電源一体型）「GXB50: 5kW」
バイポーラパルスジェネレーターGXB50は、２基のスパッタカソード間へのプラズマ形成のために、矩形波形のAC電圧を発生させます。5k...
ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ：6kW-15kW」
「GSシリーズ：GS60-GS150」は、強制空冷方式のスパッタDC電源です。6kWから15kW出力までの全5モデルは、その筐体を3種類から...
ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ：0.5kW-3kW」
「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ...
