「 SCI 新製品 」一覧
米国・Sputtering Components, Inc. (SCI) 製ロータリーカソード関連の新製品です。
米国・SCI製 アンバランスド マグネットバー 「UBM-TRM」
米国・SCI製 アンバランスド マグネットバー 品名：UBM-TRM-Type A 及び UBM-TRM-Type B ...
SCI製ロータリカソード部品： 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ
●品名： SCI製ロータリカソード部品： 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ アプリケーション：モノリシック（一体物）製法による...
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」 ●特徴 １．ターゲットは回転しません。 ２．内...
世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」
内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。 ・平面カソードからの置き換えや、小型装置への...
プロセスシュミレーション for ロータリーカソード
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」
概要： RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...
Ni（ニッケル）専用特殊強磁場マグネットバー 「ARM BAR」
概要：新製品としてNi（ニッケル）専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲットの成膜を円筒カ...
世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC
SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-D...
