「 SCI 新製品 」一覧

片側58㎜TCC

片側58㎜TCC

●TCエンドブロック SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為、プレー...

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CM80カソード (内径80㎜ターゲット用)

CM80カソード (内径80㎜ターゲット用)

●CM80カソード CM80カソードは、SCI製エンドブロックのサイドマウント型ラインナップの中で、唯一内径80㎜の小径ターゲットを搭...

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分布±0.5%以下 RAM-BAR

分布±0.5%以下 RAM-BAR

●RAMーBAR 約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使...

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