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ドイツ・Plasus社製 PEMモニター  「EMICON SA」

ドイツ・Plasus社製 PEMモニター 「EMICON SA」

特徴: ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能(例:SiO2のリアクティブ成膜) ...

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