ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
Plasus社製 PEMモニター, 注目の新製品
特徴: ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能(例:SiO2のリアクティブ成膜) ...
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