「 電子サイクロトロン共鳴 」一覧

ドイツ・Robeco社製 プラズマ発生装置 「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」

ドイツ・Robeco社製 プラズマ発生装置 「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」

概要: MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...

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