「 静止対向 」一覧

静止対向スパッタ用、スイングカソード

静止対向スパッタ用、スイングカソード

●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置には...

記事を読む