ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「GXシリーズ:GX50-GX150」

「GXシリーズ:GX50ーGX150」は、水冷方式のスパッタDC電源です。5kWから15kW出力までの全15モデルは、その筐体を3種類からお選びいただけます。アクティブフロントパネル、パッシブフロントパネル、そしてLEDステイタスパネルです。全モデル、デューティーサイクルの制限なく最大出力で使用可能です。より大きな出力を得るために、並列接続での使用も可能です。このGX50からGX150のモデルは、ADL社の他の電源と同様に、完全自動で高速アーク制御します。プロセスごとにアーク制御設定を微調整する必要がない為、取り扱いが非常に容易です。1秒当たり40,000アークを自動制御します。非常に小型でありながら、この性能を有する事、それがGXシリーズの際立った特徴です。

スペック表:以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet GX 50 – 150_092022

特徴
モード:電圧固定モード(U)、電流固定モード(I)、パワー固定モード(P)を選択可能
容量:5kWから15kWまでのラインナップ (15モデル)
冷却方式:水冷
バルブ制御:マグネティックバルブ制御(オプション)
サイズ: 幅: 216 mm x 高さ: 130 mm x 奥行 591.5 mm
出力:フローティング出力
異常放電:完全自動制御

型式 DC-出力 品番
GX 50/250 5 kW 250 V 50 A 07Z010
GX 50/800 5 kW 800 V 14 A 07Z005
GX 50/1000 5 kW 1000 V 10 A 07Z015
GX 60/800 6 kW 800 V 15 A 07Z040
GX 60/1000 6 kW 1000 V 12 A 07Z045
GX 80/800 8 kW 800 V 20 A 07Z090
GX 80/1000 8 kW 1000 V 16 A 07Z099
GX 100/400 10 kW 400 V 38 A 07Z141
GX 100/600 10 kW 600 V 30 A 07Z142
GX 100/800 10 kW 800 V 25 A 07Z140
GX 100/1000 10 kW 1000 V 20 A 07Z149
GX 120/200 12 kW 200 V 60 A 07Z151
GX 120/800 12 kW 800 V 30 A 07Z190
GX 150/800 15 kW 800 V 38 A 07Z240
GX 150/1000 15 kW 1000 V 30 A 07Z249