Melec社製測定システム(MS)は、ユーザーのHiPIMSプロセスを最適化する為にもっとも有効なツールです。MSは、1000V対10V並びに1000A対10Vまでの最大4チャンネル(2x電圧、2x電流)を測定可能です。MSは、電圧並びに電流のトランスデューサー(変換器)が個別に格納されているシステムラックに一緒に搭載可能です。もちろんターミナルボックスでの単独でのご利用も可能です。このターミナルボックスは、電圧と電流のトランスデューサーが堅牢なメタルケースに格納されています。MSは、HiPIMS電圧並びにその電流シグナルを適切にとらえます。格納されているLEM社製の高品質な電圧及び電流のトランスデューサーは、高電圧及び電流のシグナルを正確に拾う為に大きく寄与します。

● 特徴
電圧比:0V-1000V=0V-5V 減衰:x200
電圧 BW: DC-300kHz
電流比:0A-500A/1000A=0V-5V 減衰:x100 (500A)/ x 200 (1000A)
電流 BW:DC-200kHz
1U/125mm デプス
TB(ターミナルボックス)は、電圧及び電流トランスデューサーを含む(オプション)

 シリーズ

型式 電圧 電流
MS-500-S 1 x 1000 V 1 x 500 A
MS-500-S-TB 1 x 1000 V 1 x 500 A
MS-500-D 2 x 1000 V 2 x 500 A
MS-500-D-TB 2 x 1000 V 2 x 500 A
MS-1000-S 1 x 1000 V 1 x 1000 A
MS-1000-S-TB 1 x 1000 V 1 x 1000 A
MS-1000-D 2 x 1000 V 2 x 1000 A
MS-1000-D-TB 2 x 1000 V 2 x 1000 A