SPIK3000A: HiPIMS 5kW – 30kW
SPIK3000A パルスパワーコントローラーは、フローティング出力を備えるあらゆるDC電源と連携可能で、お手持ちのDC電源を、最先端のパルスパワーコントロール電源へアップグレード可能です。
SPIK3000Aは、SPIKシリーズの中で、最先端のモデルで、オン-オフタイム及び極性を選択しながら最大８パターンまでの異なるパルスを生成させるFPPGを備えています。また並列接続で、最大5台のSPIK3000Aを同期させることが可能で、最大5000Aまで出力可能です。
SPIK3000Aは、最も安定したパルス電圧と電流を提供します。標準ではシリアル通信で制御されますが、オプションとして、様々なインターフェースへのカスタマイズも可能です。アーク制御時間は2us以下である為、基材へのダメージはほぼ発生しません。この非常に早い反応速度は、ユーザーの最終的な問題解決手段として、大きく貢献します。
● 周辺機器との典型的な接続例
ダウンロード：Schematic_DC High Pulse Power Controller Set_23071001
● アプリケーション
HiPIMS
HiPIMS + MF
HiPIMS + Bias
Bias (単独利用)
Pulsed DC
Plasma CVD
Plasma Diffusion
Plasma Nitriding
Plasma Etching
Plasma Cleaning
Plasma Electrolytic Oxidation PEO
● 特徴
DC – 25/50kHz パルス周波数レンジ
高速アーク検出及び2us以下のアーク抑制
パルスオンタイム 5us-16ms
パルスオフタイム 5us-32ms
出力モード：DC-、ユニポーラ＋, ユニポーラ- 及びバイポーラ
左右対称な電圧出力
FPPG(8種類までのパルスのフリーパルスパターンコントローラ)
２xトリガー出力/１ｘトリガーインプット
水冷
19インチx 7U ラック搭載
多彩なリモートインターフェース（プロフィバス/RS485）
●シリーズ
| 型式 | DC パワー(kW) | DC 電圧 (V) | DC 電流(A) | パルスピークパワー (kW) | 周波数範囲 |
|---|---|---|---|---|---|
| A-05-EF | 5 kW | 1000 V | 10 A | 500 kW | DC – 50kHz |
| A-10 | 10 kW | 1000 V | 25 A | 1000 kW | DC – 25kHz |
| A-20 | 20 kW | 1000 V | 35 A | 1000 kW | DC – 25kHz |
| A-30 | 30 kW | 1000 V | 50 A | 1000 kW | DC – 25kHz |
