概要:
新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。
今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲットの成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。
ご興味頂けましたらどうぞお気軽にお問合せください。
● Ni(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバー
品名:QRM-Bar for Ni
モデル名:ARM Bar
特徴
-.ニッケル等、強磁性体円筒ターゲットに利用可能
-.安全に円筒ターゲットに挿入可能な特殊機構(特許)
-.強磁場を使用している為、長時間の連続成膜が可能
-.溶射ニッケル、一体物ニッケル、いずれも使用可能
-.溶射Niターゲットで5㎜厚相当(直径143㎜)で、ターゲット表面磁場500ガウス以上
-.正確にターゲット-マグネット間距離を維持する特殊機構
-.電磁波シールド、ハードディスク等のアプリケーションに最適
Ni(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバー
安全対策:マグネットをターゲットから離す機構(特許)
安全対策:マグネットをターゲットに近づける機構(特許)
圧縮エアー投入の様子