Vital社製 円筒 Ru (Ruthenium: ルテニウム)ターゲット

以下ルテニウムスパッタリングターゲットをご提供可能です。
お気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。。

● 品名:Vital社製 円筒 Ru (Ruthenium: ルテニウム)ターゲット
材質: ルテニウム
純度: 99.9%以上
製法: 焼結リングターゲットのバッキングチューブへのボンディング
リングターゲット長:100㎜
ターゲット全体長:最長4000㎜まで
ターゲット厚み:標準7㎜ (相談可)
バッキングチューブ寸法:内径125㎜x外径133㎜
バッキングチューブ材質:SUSもしくはTi(チタン)
特記事項:平面(プレーナー)形状でのご提供も可能です。