以下ルテニウムスパッタリングターゲットをご提供可能です。
お気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。。
● 品名:Vital社製 円筒 Ru (Ruthenium: ルテニウム)ターゲット
純度: 99.9%以上
ターゲット全体長:最長4000㎜まで
ターゲット厚み:標準7㎜ (相談可)
バッキングチューブ寸法:内径125㎜x外径133㎜
バッキングチューブ材質:SUSもしくはTi(チタン)
以下ルテニウムスパッタリングターゲットをご提供可能です。
お気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。。