イオンソース用DC電源

DC電源, 注目の新製品

Products & Accessories Power Supplies for Ion Sources

イオンソースの為に、特別に設計された電源です。リクエストベースで、仕様以外の電圧出力や、容量をカスタマイズ可能です。すべてのモデルで、AS-4インターフェース、プロフィバス、イーサーキャット、RS232/484インターフェースをご選択いただけます。

 

●型式

型式 DC-出力 品番
GG 03 Accelerator 300 W 1000 V 300 mA 09Z001
GG 03.1 Accelerator 30 W 1000 V 30 mA 09Z002
GG 08 Accelerator 800 W 1000 V 800 mA 09Z005
GG 12 Beam 1.2 kW 2000 V 1 A 09Z011
GG 12.1 Beam 200 W 2000 V 100 mA 09Z012
GIP 10 Neutralizer 990 W
25 W
25 W		 33 V
25 V
25 V		 30 A
1 A
1 A		 09Z021
GIP 10.1 Neutralizer 990 W
2.5 W		 33 V
25 V		 30 A
0.1 A		 09Z022
GDI 09 Discharge 900 W 150 V 6 A 09Z031
GC 10 Cathode 1 kW 35 V 30 A 09Z051

 

●　仕様：　以下より仕様書をダウンロード頂けます。
Datasheet for Ion Sources_012022 (340.4 KB)

 

●　特徴
イオンビームや、プラズマプロセス技術で、幅広く適用可能
エッチング、スパッタリング、等
革新的なアプリケーションに適用可例えば、マイクロエレクトロニクス、光学、センサー等

アクセレーター GG03, GG03.1, GG08

   ビームGG12、GG12.1

ニュートライザーGIP10、GIP10.1

ディスチャージ GDI 09
 カソード　GC10

SCJ