| ドイツ・グランゼンバッハ社 | |
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品名：建築用LowEガラスコーター 特徴： 元ライボルトオプティクスのエンジニアが 多数移籍して2013年に立ち上げたコーティング 部門。主に建築用や大型基板向けのスパッタ装 置製造を得意とする。米国・SCI社との提携に より、コーティングソースに、SCI製ロータリ ーカソードを搭載可能。 |
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| 韓国・KCMC社 | |
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品名：デスクトップ型スパッタ装置 対応基板：４インチ径まで 基板加熱：600℃まで 制御：カラータッチパネルPLC ポンプ： 低真空9m3/h 高真空75L/ｓ 搭載可能カソード：2インチｘ2ソース 使用電源種：DCまたはRF ガス：3MFC (Ar,O2,N2 等） 註1：カスタム対応致します。 註2：電源、ポンプが付属します。 |
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品名：薄膜型 プラチナ電極 Pt厚：50nm-300nm 使用基板：Ti, TiO2,SiO2, Siウエハー または、客先指定基板 基板サイズ：4-6インチ 結晶方向：(111) 耐熱性：800℃まで 表面粗さ：2nm |