| 品名：円筒ターゲット | |
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供給材料：Si,NiCr,Mo,Cr,Al,Nb,Cu, In,ITO,Ta,TiAl,Ag,Ni,Ti,ZnAl, AZO SiAl, TiOx, NbOx, その他合金 等 製法：プラズマ溶射、 焼結ターゲットのボンディング、 一体もの、キャスティング 使用バッキングチューブ：SUS,Ti 他 バッキングチューブ寸法： 内径125㎜ｘ外径133㎜ｘ200㎜〜4000㎜ 内径80㎜ｘ外径88㎜ｘ200㎜〜4000㎜ 等 純度：お問合せください。 |
| 供給実績（参考例） |
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品種：Cr 円筒ターゲット 純度：99.5％以上 密度：95％以上 製法：溶射 供給寸法：最長 3000㎜ ｘ 厚み 3-13㎜ |
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品種：NbOx 円筒ターゲット 純度：99.99％以上 密度：95％以上 製法：溶射 供給寸法：最長 4000㎜ ｘ 厚み 3-13㎜ |
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品種：Si 円筒ターゲット 純度：99.99％以上 密度：95％以上 製法：溶射 供給寸法：最長 4000㎜ ｘ 厚み 3-13㎜ |
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品種：SiAl 円筒ターゲット 組成比：Si90-Al10%±1 (応相談） 純度：99.9％以上 密度：94％以上 製法：溶射 供給寸法：最長 1000-3000㎜ ｘ 厚み 3-13㎜ |
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品種：TiOx 円筒ターゲット 純度：99.２％以上 密度：95％以上 製法：溶射 供給寸法：最長 4000㎜ ｘ 厚み 3-13㎜ |
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品種：ZnAl 円筒ターゲット 組成比：Zn98-Al２wt% (応相談） 純度：99.99％以上 密度：95％以上 製法：溶射 供給寸法：最長 1000-4000㎜ ｘ 厚み 3-13㎜ |
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品名：平面ターゲット |
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供給材料：Si,NiCr,Mo,Cr,Al,Nb,Cu, In,ITO,Ta,TiAl,Ag,Ni,Ti,ZnAl, AZO, その他合金 等 製法：プラズマ溶射、 焼結ターゲットのボンディング、 一体もの、キャスティング 使用バッキングプレート：Cu,Ti 等 形状：円形、角型他 純度：お問合せください。 |
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品名：貴金属ターゲット |
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供給材料：Au,Ag, Ru, Pt, それらの合金 等 製法：焼結ターゲットのボンディング、 一体もの、キャスティング、プラズマ溶射 使用バッキングプレート：Cu 他 形状：ディスク形、角型、円筒型 他 純度：お問合せください。 |
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品名：蒸着材料 |
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供給材料： 高光屈折率材料：Sc2O3,Y2O3.SiO,Ti2O3,TiO ,TiO2,Pr6O11,ZrO2,SnO2+In2O3 等 中光屈折率材料：Al2O3,LaF3,YF3, 等 低光屈折率材料：CaF2,NaF,Na3AlF6 等 化合物：Al2O3+ZnO,AlN,Sb2O3+SnO2 等 純メタル：Ag,Au,B,Ba,Bi,C,Cd,Ce,Co,Cr 等 合金：Ag+Cu,Al+Cu,Al+Cr ,Al+Si 等 詳細はお問合せください。 |
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品名：バッキングプレート |
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使用材料： 平面ターゲット：Cu, Ti 他 円筒ターゲット：SUS, Ti, Cu 他 |
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品名：ボンディングサービス |
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円筒ターゲットのボンディングサービス、
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ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております