幅218㎜、高さ222㎜という、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、マウンティングフランジを備えており、プラズマチャンバーのいかなる場所にも設置できます。その制御ディスプレイは、表示角度を調節でき、また必要に応じ、本体から切り離すことも可能です。効率的な水冷システムは、空調が効いていない環境でも高い信頼性を発揮します。冷却水の凝集を防ぐため、内蔵の温度制御デバイスを介し、エクスターナル磁気バルブを接続可能です。
総出力は、並列接続で、280kWまで拡張可能です。特殊な回路設計は、マスターースレイブ運用はもちろん、インターフェースコンバイナー、あるいはPLCを介しての並列接続も可能です。その究極に早いアーク制御は、完全自動で実施される為、ユーザーでの細かいパラーメータ設定は一切不要です。
スペックシート：以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet HX 150 – HX 350_022022c_0_0
特徴：
出力15kWから35kWまで全15モデル
並列接続で280kWまで拡張可能
水冷冷却
マグネティックバルブ制御
粉塵除去換気機構内蔵
高さ222㎜ｘ幅218㎜ｘ奥行645㎜
フランジ搭載可能
クレーンアイを接続するためのM8メネジ
角度可変並びに分離可能なディスプレイ
完全自動アーク制御
| 型式 | DC-出力 | 品番 | ||
| HX 150/400 | 15 kW | 400 V | 80 A | 13Z010 |
| HX 150/500 | 15 kW | 500 V | 60 A | 13Z020 |
| HX 150/600 | 15 kW | 600 V | 50 A | 13Z030 |
| HX 150/800 | 15 kW | 800 V | 30 A | 13Z040 |
| HX 150/1000 | 15 kW | 1000 V | 25 A | 13Z050 |
| HX 200/500 | 20 kW | 500 V | 70 A | 13Z100 |
| HX 200/800 | 20 kW | 800 V | 40 A | 13Z110 |
| HX 200/1000 | 20 kW | 1000 V | 35 A | 13Z120 |
| HX 250/500 | 25 kW | 500 V | 80 A | 13Z190 |
| HX 250/800 | 25 kW | 800 V | 50 A | 13Z200 |
| HX 250/1000 | 25 kW | 1000 V | 40 A | 13Z210 |
| HX 300/800 | 30 kW | 800 V | 60 A | 13Z300 |
| HX 300/1000 | 30 kW | 1000 V | 50 A | 13Z310 |
| HX 350/800 | 35 kW | 800 V | 70 A | 13Z320 |
| HX 350/1000 | 35 kW | 1000 V | 60 A | 13Z330 |
HX-150-HX350の水平搭載、正面
HX-150-HX350の水平搭載、背面
HXシリーズとSBバイポーラパルス
ジェネレータの連結、正面
HX-150-HX350の垂直設置と角度可変制御ディスプレイ
アクセサリー：このAM2/3は、同シリーズの同型DC電源（GX、HX、GSW）、3台までをパラレル接続し出力を拡張できます。その際のコントローラーはひとつに統合されます。またこれらのDC電源は、パルスジェネレーターとも連携でき、このAM2/3インターフェースコンバイナーを介して一括して制御可能となります。例えば、HX350 /800の場合であれば、中心周波数で、105kWまで拡張可能です。
MS4インターフェースコンバイナーは、同型のパワーサプライを、4台までマスターースレイブ接続可能にします。
例えば、4台のHX350を連携させた場合、140kWまで出力を拡張できます。
出力がそれでも不十分の場合、S4インターフェースエクステンションを用いれば、最大8台までの電源を連携でき、その場合は、280kWまで出力拡張可能です。
また、パルスジェネレータとも連携接続可能で、MS4インターフェースコンバイナー経由で一括制御可能となります。この場合、中心周波数で、280kWまで拡張可能です。
HXシリーズ寸法
