ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●TCエンドブロック
SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為、プレーナーカソードからの改造の場合も、非常に簡単に左右対称性を得られます。また、TCエンドブロックの両側とフランジ面の間にスペーサーを挟めば、自由にターゲット‐基板間の距離を変更可能となります。
SCI製マグネットバー、全種類と互換性があり、搭載可能です。
TC, コンパクト SCJ
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」 ●特徴 1.ターゲットは回転しません。 2.内...
記事を読む
「GSシリーズ:GS60-GS150」は、強制空冷方式のスパッタDC電源です。6kWから15kW出力までの全5モデルは、その筐体を3種類から...
特徴: -.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。 -.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です...
特徴: ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能(例:SiO2のリアクティブ成膜) ...
Zeige grösseres Bild HiPIMS + MF + Bias Hi...
品名: 米国・Junora社製 円筒型リチウムターゲット 製造所:米国・Junora社について 旧Soleras 社のオーナー、De...
幅218㎜、高さ222㎜という、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、...
Options and accessories: Flexibility is our strength 様々なインターフェース...
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-D...