ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●TCエンドブロック
SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為、プレーナーカソードからの改造の場合も、非常に簡単に左右対称性を得られます。また、TCエンドブロックの両側とフランジ面の間にスペーサーを挟めば、自由にターゲット‐基板間の距離を変更可能となります。
SCI製マグネットバー、全種類と互換性があり、搭載可能です。
TC, コンパクト SCJ
●CM80カソード CM80カソードは、SCI製エンドブロックのサイドマウント型ラインナップの中で、唯一内径80㎜の小径ターゲットを搭...
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