ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●TCエンドブロック
SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為、プレーナーカソードからの改造の場合も、非常に簡単に左右対称性を得られます。また、TCエンドブロックの両側とフランジ面の間にスペーサーを挟めば、自由にターゲット‐基板間の距離を変更可能となります。
SCI製マグネットバー、全種類と互換性があり、搭載可能です。
TC, コンパクト SCJ
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」 ●特徴 1.ターゲットは回転しません。 2.内...
記事を読む
特徴: エンドブロック(回転駆動部)が真空層に入るドロップインタイプのMCシリーズに、スイング機能を追加搭載した新型モデルとなります。真...
概要:新製品として強磁性体ターゲット(Ni, Fe等)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。今まで不可能だったNi等強磁性体ター...
●RAMーBAR 約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号...
HiPIMS 電圧・電流 測定システム Melec社製測定システム(MS)は、ユーザーのHiPIMSプロセスを最適化...
SDシリーズ:SD151、SD301、SD351 ADL社のDC電源と組み合わせることにより、SD151/SD301及びSD351は、...
以下アドバンストエナジー社製中古電源を取り扱っております。ご興味がございましたら、ご連絡頂けましたら幸いです。 型式: 31...
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...
「GSシリーズ:GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ...
幅218㎜、高さ222㎜という、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、...