SCI 新製品, 注目の新製品
●TCエンドブロック
SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為、プレーナーカソードからの改造の場合も、非常に簡単に左右対称性を得られます。また、TCエンドブロックの両側とフランジ面の間にスペーサーを挟めば、自由にターゲット‐基板間の距離を変更可能となります。
SCI製マグネットバー、全種類と互換性があり、搭載可能です。
TC, コンパクト SCJ
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ...
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