SCI 新製品, 注目の新製品
●スイングカソード
従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカソードは使えないという欠点がございました。
このスイングカソードは、内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動します。このスイングカソードを複数本並べることによって、従来不可能であった静止した基板に対し、±2%以下の分布と共に、ロータリーカソードの最大の利点である、70%以上のターゲット使用効率の両方を実現します。
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スイングカソード, 静止対向 SCJ
●品名: SCI製ロータリカソード部品: 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ アプリケーション:モノリシック(一体物)製法による...
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