静止対向スパッタ用、スイングカソード

●スイングカソード

従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカソードは使えないという欠点がございました。

このスイングカソードは、内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動します。このスイングカソードを複数本並べることによって、従来不可能であった静止した基板に対し、±2％以下の分布と共に、ロータリーカソードの最大の利点である、70％以上のターゲット使用効率の両方を実現します。
また、立体物への成膜においても、マグネットを揺動させることにより、従来影になる箇所への材料の回り込みを促進させ、分布の向上を期待できます。
更に、マグネットを反転させることで、本生産前に、ダミー基板を消費することなく、ターゲットのクリーニングが可能となります。

●　モデル
以下三種類のサイドマウント型スイングカソードをご用意しております。

●分布シュミレーション

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