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SCI: ドロップイン型カソード、プロモーション
SCI:ターゲット交換（水平搭載の場合）
SCI:ターゲット交換（垂直搭載の場合）
TC ターゲット交換
SCI：水の充填率（垂直搭載の場合）
SCI：RAMバー (遠隔式ターゲット-マグネット距離制御システム）
SCI：サイドマウント型スイングカソード (静止基材及び３D基材向けロータリーカソード）
型式 SMS, MMS, CMS
SCI: ドロップイン型スイングカソード
型式 MCS
SCI: 特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」
SCI マグネットバー測定 １
SCI マグネットバー測定 ２
ADL： バイポーラパルスドDC電源
パワー固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子
ADL： バイポーラパルスドDC電源
電圧固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子
ADL： バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
一定の酸素供給量で基板位置による出力（P）の自動調整
ADL： バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
基板位置による酸素供給量の自動調整で、安定した出力値（P）
Matesy：M-Cat （ターゲット変形及び磁場測定システム）
Matesy：Tube-Inspector （自走式ターゲット変形及び磁場測定システム）