米国・SCI Engineered Materials社製 蒸着材料
◯ 概要：
スパッタ成膜では対応できない、より速い成膜スピード、もしくはより低い成膜温度が要求される際、蒸着法が採用されます。米国・SCI Engineered Materials社（以降SEM社）は、高品質な金属、セラミック、そして合金の蒸着材料を、客先の要望の状態で提供致します。蒸着材料は、主に抵抗加熱蒸着法や、E-Beam蒸着法にて利用されます。これらの蒸着材料は、ペレット、ロッド、ワイヤー、パウダー、スラグはもちろんの事、その他ユーザーの仕様に従い形状加工してご提供可能です。試作向けの特殊な仕様にも喜んで検討させて頂きます。
ブレの無い、一貫性のある評価結果の為には、その純度が非常に重要である事を存じております。その為、SEM社では、できるだけ高純度の蒸着材料をご提供いたします。また、SEM社では、紛争鉱物は使用しません。品質管理はすべてSEM社内でとり行っておりますので、常にブレの少ない安定した高品質な蒸着材料をご提供可能です。
◯ 特徴：
SEM社では、以下のような蒸着材料をご提供可能です。
・低純度から高純度まで
・単一元素金属、化合物、セラミック、合金、貴金属
・生産あるいは研究開発向けの、スラグ、ペレット、パウダー、その他客先仕様の形状
・紛争鉱物ではない蒸着材料
・すべての蒸着材料に、検査成績書及びSDSを付帯させます。
◯ ご提供製品種：
| 酸化物 | 硫化物 |
| SiO – 一酸化ケイ素 | ZnS – 硫化亜鉛 |
| SiO2 – 酸化珪素 | |
| SnO2 – 酸化スズ | 窒化物 |
| Ta2O5 – 五酸化タンタル | AlN – チッ化アルミニウム |
| Ti3O5 – 五酸化チタン | Si3N4 – チッ化ケイ素 |
| TiO – 一酸化チタン | TiN – チッ化チタン |
| TiO2 – 二酸化チタン－チタニア | |
| WO3 – 酸化タングステン | フッ化物 |
| Y2O3 – 酸化イットリウム－イットリア | SmF3 – フッ化サマリウム |
| Yb2O3 – 酸化イッテルビウム | YbF3 – フッ化イッテルビウム |
| ZnO – 酸化亜鉛 | YF3 – フッ化イットリウム |
| ZrO2 – 酸化ジルコニウム－ジルコニア | AlF3 – フッ化アルミニウム |
| ZRT2 – ZrO2+TiO2 | BaF2 – フッ化バリウム |
| Al2O3 – 酸化アルミニウム-アルミナ | BaF2+YF3 – フッ化バリウム+フッ化イットリウム |
| CeO2 – 酸化セリウム | CaF2 – フッ化カルシウム |
| Cr2O3 – 酸化クロム | CeF3 – フッ化セリウム |
| Fe2O3 – 酸化鉄 | GdF3 – フッ化ガドリニウム |
| Ga2O3 – 酸化ガリウム | LaF3 – フッ化ランタン |
| HfO2 – 酸化ハフニウム－ハフニア | LiF – フッ化リチウム |
| I.T.O – In2O3＋SnO2 | MgF2 – フッ化マグネシウム |
| MgO – 酸化マグネシウム－マグネシア | NaF – フッ化ナトリウム |
| Nb2O5 – 五酸化ニオブ | NdF3 – フッ化ネオジム |
| NiO – 酸化ニッケル |
